項目信息
項目名稱
北京市發(fā)明專利獎
企業(yè)名稱
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
公示時間
項目級別
市級
組織部門
北京市知識產(chǎn)權(quán)局
年份
2013
課題名稱
電感耦合線圈及其電感耦合等離子體裝置
證書編號
-
資助金額
-
申報批次
第二屆
人員名稱
宋巧麗、李東三、孫巖
數(shù)據(jù)來源
第二屆北京市發(fā)明專利獎獲獎項目名單
來源鏈接
http://www.40doujij.com/news/20189.html